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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
陳炤彰, 許厲生,
所有權人 Asignee 國立臺灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 095144234 I359451 0950027TW0
  點閱數:1024

技術摘要:
一種化學機械拋光裝置及其研磨頭。化學機械拋光裝置用以拋光一矽晶圓之表面。化學機械拋光裝置包括一承載平台及一研磨頭。承載平台用以貼附一拋光墊。研磨頭係設置於承載平台之上方。研磨頭包括一夾持元件及一拋光環。夾持元件用以夾持矽晶圓。拋光環係套接於夾持元件及矽晶圓外圍。拋光環具有一內壁表面、一外壁表面及一接觸表面,接觸表面係設置於內壁表面及外壁表面之間。拋光環係以接觸表面抵觸拋光墊。其中至少部分之接觸表面傾斜於承載平台。

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