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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
林榮慶, 陳健忠,
所有權人 Asignee 國立台灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 096121754 I321503 0950100TW0
美國 12/056,050 US7991216B2 0950100US0
  點閱數:670

技術摘要:
本發明揭露一種有關化學機械研磨對具有不同花紋及形貌的研磨墊研磨晶圓的研磨頻率及次數之數值分析方法,本方法將晶圓與研磨墊的不同花紋及形貌圖像轉換成二值化(binary)影像,以數值矩陣方式運算,僅須計算相對運動下位置變換及不同花紋及形貌轉動變形時的研磨次數的修正模式,並以有效研磨次數疊加模式來估算設定的研磨路徑下,一段研磨時間內的有效研磨次數分佈狀態。

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