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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
陳炤彰, 許厲生,
所有權人 Asignee 國立台灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 097108401 I367524 0950039TW1
  點閱數:1109

技術摘要:
一種化學機械拋光裝置及其化學機械拋光方法。

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