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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
陳炤彰, 蔡雨彤, 莊程媐, 林建憲, 薛慶堂, 黃柏晴,
所有權人 Asignee 國立臺灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 109118098 申請中 1090028TW0
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技術摘要:
於旋轉平台上,採噴氣氣流與水膜流動方向相反設計,利用氣流將水膜預先排空,使量測點在待量測平台高速旋轉下依舊可保持無水膜影響情況

設計一旁通道,使裝置可通入特殊氣體,目的為檢測期間在能夠保護Pad(維持特性)的情況下,依然能順利量測訊號。


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