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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
鄭正元, 汪家昌, 沈昌和,
所有權人 Asignee 國立臺灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 092128666 594437 0920005TW0
美國 11/160,921 US7320946B2 0920005US1
  點閱數:1526

技術摘要:
一般在半導體的製程當中,微影(Photolithography)為最重要的步驟之ㄧ,通常光罩使用的越多,就代表製程技術越困難,而舊有的光罩技術多為鍍鉻膜層來成型光罩圖案,然而舊有的鍍膜技術極為耗時、耗人力、消耗材料、且精確度也不高,所以舊有的傳統式光罩極需改良,以改善生產效能不高的問題。數位光罩組剛好為解決傳統光罩問題之發明,利用數位影像顯影的方式改善舊有光罩耗費資源的問題。

『數位式動態光罩商品特色』
1、技術轉為數位化,大幅減少多餘的前置作業,可節省與多家廠商配合的時間和資源。
2、更換光罩圖案不需更換光罩。
3、變更光罩圖案時,不需要物理對位,動態光罩將數位化處理,減少物理對位使得製程出錯不精準。
4、數位影像呈現光罩圖案,不需耗費玻璃、化學原料等,能大幅度的節省光罩耗材,降低成本。
5、動態光罩為數位顯影方式,所以可以重複使用之,不需像傳統光罩一直耗費材料。
6、製成簡單化故可降低成本、提高效能、節省人力、降低污染、重複使用。

一種動態光罩模組,主要係由一微電腦系統、一光罩圖形產生器以及一光源所構成。其中光罩圖形產生器配置於基板上方且與微電腦系統電性連接,此微電腦系統用以將預設之一光罩圖形的影像訊號傳送至光罩圖形產生器,以輸出此光罩圖形。光源配置於光罩圖形產生器上方,用以將光罩圖形之影像轉移至一基板表面的光阻上。本發明之動態光罩模組產生之光罩圖形為動態影像,可隨時更換且不需另行拆裝,係可降低成本及縮短加工時間。

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