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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
曾堯宣, 李澈,
所有權人 Asignee 國立臺灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 100149378 I456194 1000106TW0
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技術摘要:
本發明藉由光觸媒氧化反應程序發展分析氣相中低濃度磷化氫濃度之技術,利用不同光催化反應結果,以傅立葉紅外線光譜儀(FTIR)、離子層析儀(IC)與感應耦合電漿發射光譜(ICP-AES)分別分析氣相中磷化氫濃度變化以及於光觸媒表面生成之磷酸鹽與磷原子總含量,藉以建立濃度校正曲線。可以藉由光觸媒材料表面之磷物質含量以準確推估氣相中磷化氫濃度,此部份預計可發展出低濃度磷化氫氣體之分析程序。

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