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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
黃炳照, 蘇威年, 鄭正元, 朱元翰, 邱則明, 鄧信甫,
所有權人 Asignee 國立臺灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
美國 15/816,247 US10211105B2 1020138US1
中華民國 104104167 I585841 1020138TW0
中國 201610042291.X CN 105856444 B 1020138CN0
美國 15/015,061 US9852948B2 1020138US0
歐盟 16154208.9 申請中 1020138EU0
  點閱數:978

技術摘要:
本技術針對非導體材料,特別是矽,利用該材料對氧化劑會化學反應之特性,可以搭配適當的條件 (不同配比之腐蝕液、溫度、溶液酸鹼值或添加劑等),可以針對該非導體材料進行加工。此加工可涵蓋,例如切割、表面蝕刻、規則或非規則性的圖案化、表面處理等,同時依據不同應用需求予以調整。

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