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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
李三良, 洪勇智, 吳偉泓, 謝志華,
所有權人 Asignee 國立臺灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 104103034 I604286 1030091TW0
  點閱數:994

技術摘要:
一種新式的全像曝光微影系統,包含一分光鏡元件、兩組光纖及具有控制器的雙邊展開式置具進行光學圖案化曝光。以50-50 %的分光鏡將光源分成兩道光束,分別進入光纖進行光學耦合成同調性相同的光束。光纖不僅提供光束傳遞,亦可取代空間濾波器 (擴束器)達到光束展延的作用。本發明提供一套新式光學全像曝光術的系統開發,相較於傳統全像術容易因入射角度影響曝光面積,設計置具控制其雙邊沿相同軌跡展開,並在置具兩端放置兩個固定角度的光纖,於展開時可使光纖依照相同的入射角度投影進行圖案化曝光。

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